Oktafluorisyklopentenikaasu

Oktafluorisyklopenteeni on myrkyllinen, palamattoman, matala kiehumispiste (81 astetta F) väritön neste, jolla on pieni erottuva haju.

Octafluorisyklopenteni 99,99% puhtaudenvalmistajan toimittajilla Jiangsu MR Chemical Co., Ltd

CAS: 559-40-0

Einecs: 209-203-0

UN: 2810

Molekyylinen kaava: C5F8

Octafluorocyclopentene gas is gaining recognition as a superior etching medium in semiconductor fabrication due to its unique cyclic molecular structure. Unlike linear perfluorocarbons, octafluorocyclopentene gas demonstrates exceptional plasma stability and precise etching characteristics that enable superior profile control in high aspect ratio features. The gas's relatively high boiling point (-6°C) allows for easier handling compared to other etching gases, while its density (approximately 6.8 times heavier than air) requires specific safety protocols to prevent accumulation in confined spaces. Recent breakthroughs in 3D NAND flash memory production have particularly benefited from octafluorocyclopentene gas's ability to maintain consistent etch rates across deep trench structures. Environmental considerations surrounding octafluorocyclopentene gas focus on its global warming potential (estimated GWP of 7,200), prompting development of advanced abatement systems that can destroy over 99% of used gas. The compound's thermal stability (decomposition temperature >550 astetta) tekee siitä yhtä arvokkaan kuin dielektrinen väliaine erikoistuneissa korkeajännitelaitteissa, joissa perinteiset eristimet epäonnistuvat.

Oktafluorisyklopeneenia (OFCP) käytetään pääasiassa puolijohdeteollisuudessa, etenkin plasman etsausprosesseissa. Se on myös aloitusmateriaali muiden optoelektronisten laitteiden ja muiden sovellusten perfluoroitujen yhdisteiden syntetisoimiseksi.

• Käytä aina turvallisuustietolomakkeen (SDS) mukaisesti.
• Sylinteri on säilytettävä ja käytettävä pystyssä, turvattussa asennossa hyvin ilmastoidulla tai tarkkailussa.
• Seuraa aina paikallisia palokoodin vaatimuksia kaasusylinterien tallentamisessa.
• Suurimmat vaarat: tulipalo, tukehtuminen.

Suositut Tagit: Octafluorosyklopentenikaasu, Kiina Octafluorosyklopentenikaasuvalmistajat, toimittajat, tehdas